3月29日，清華大學設備采購信息平臺發(fā)布了一則等離子體刻蝕機采購項目的公開招標公告。

據(jù)介紹，該等離子體刻蝕機將用于刻蝕薄膜鈮酸鋰晶圓，從而加工基于薄膜鈮酸鋰晶圓的電光器件。

技術指標要求：

－ 真空系統(tǒng)：分子泵抽速≥1300L/s、干泵抽速≥100m3/h；

－ 下電極：滿足8英寸(200mm)樣品刻蝕需要，更小樣品或碎片可貼片裝載；

－ 軟件和控制系統(tǒng)：要求自主版權的軟件、Windows操作系統(tǒng)軟件；

－ 機臺工藝能力：主要用于刻蝕薄膜鈮酸鋰材料、介質材料等。

等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。

等離子刻蝕是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

總結

以上是生活随笔為你收集整理的清华大学采购等离子体刻蚀机：预算165万的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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