MEMS電容式加速度傳感器（簡介）
　MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域，與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。其中MEMS加速度傳感器被現在廣泛應用在各個有著需要運動的領域中。
因為一個國家的航天發展程度反映著該國的科技的整體水平，所以隨著航天科技的飛速發展傳感器的小型化、多功能、機動性、高性能的也隨之提高，所以人們對傳感器在航天領域的要求更為苛刻和重要例如航天慣性傳感器在體積、重量、性能方面的要求很高。在這中情況下MEMS加速度計隨之研發出來，因為小型化、高性能、高可靠性、準確性、穩定性被應用在航天、軍事等重要領域。

那么MEMS電容式加速度計的工作原理是什么呢？
MEMS電容式加速度計具有高精度、低溫度敏感系數、低功耗、寬動態范圍、微機械結構優等優點成為目前國內外研究的熱點。因為有著很好的直流響應、較好的信噪比、負載阻抗高、受磁場干擾小、易自檢、高靈敏度、低溫漂等在低頻響方面可以響應靜態或者直流加速度，因為被廣泛應用。
其基工作原理就是將電容作為檢測接口，來檢測由于慣性力作用導致慣性質量塊發生的微位移。質量塊由彈性微梁支撐連接在基體上，檢測電容的一個極板一般配置在運動的質量塊上一個極板配置在固定的基體上，能夠利用靜電力實現反饋閉環控制，顯著提高傳感器的性能。?

總結

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