ASML光刻机入驻中国晶圆厂:投资25亿美元 55nm工艺
北京清芯華創(chuàng)投資公司投委會(huì)主席陳大同博士日前在報(bào)告中談到了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與世界一流水平的差距,其中封裝方面差距最小,最快 5 年追上,半導(dǎo)體制造上則需要 10-15 年,這部分也是國產(chǎn)最弱的一部分了。
在半導(dǎo)體制造方面,國內(nèi)工藝最先進(jìn)的主要是 SMIC 中芯國際,28nm 已經(jīng)量產(chǎn),14nm 今年下半年量產(chǎn)。其次就是上海華虹集團(tuán),該公司建設(shè)了多個(gè)半導(dǎo)體制造項(xiàng)目,其中華虹六廠將在明年量產(chǎn) 14nm 工藝。
根據(jù)資料,2018 年 4 月 3 日,華虹集團(tuán)宣布位于無錫的華虹半導(dǎo)體七廠開工。據(jù)了解,華虹無錫集成電路研發(fā)和制造基地項(xiàng)目占地約 700 畝,總投資 100 億美元,一期項(xiàng)目總投資約 25 億美元,新建一條工藝等級 90-65 納米、月產(chǎn)能約 4 萬片的 12 英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線,支持 5G 和物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的應(yīng)用。
華虹無錫基地項(xiàng)目將分期建設(shè)數(shù)條 12 英寸集成電路生產(chǎn)線。首期項(xiàng)目實(shí)施后,將適時(shí)啟動(dòng)第二條生產(chǎn)線建設(shè)。
華虹半導(dǎo)體(無錫)有限公司一期工程計(jì)劃將于 2019 年上半年完成土建施工,下半年完成凈化廠房建設(shè)和動(dòng)力機(jī)電設(shè)備安裝、通線并逐步實(shí)現(xiàn)達(dá)產(chǎn),預(yù)計(jì)年產(chǎn)值將達(dá) 50 億元。
經(jīng)過一年的建設(shè),華虹方面此前宣布無錫的華虹七廠將在 2 季度搬入機(jī)臺(tái)設(shè)備,預(yù)計(jì) 4 季度正式開始量產(chǎn) 12 英寸晶圓,華虹旗下的研發(fā)、工程及銷售團(tuán)隊(duì)正在為此做準(zhǔn)備。
日前華虹無錫項(xiàng)目進(jìn)入了新階段,6 月 6 日舉行了 2 英寸生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目首批光刻機(jī)搬入儀式,此舉標(biāo)志著華虹七廠建設(shè)上了一個(gè)新臺(tái)階,為 9 月建成投片奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
上午9:30,光刻機(jī)搬入儀式正式開始。華虹宏力黨委書記、總裁、華虹半導(dǎo)體(無錫)有限公司總經(jīng)理唐均君主持儀式,總包聯(lián)合體十一科技黨委書記、董事長趙振元,上海建工集團(tuán)黨委副書記、總裁卞家駿,以及設(shè)備供應(yīng)商代表阿斯麥公司(ASML)全球資深副總裁 Bert Savonije 分別發(fā)言。
總結(jié)
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