国产CPU工艺双喜临门 华虹14nm工艺良率已达25%
作者:憲瑞
在先進半導體工藝上,國內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國際 SMIC 的 14nm 工藝已經(jīng)量產(chǎn),改進版的12nm 工藝也在導入中,取得了優(yōu)秀的成績。考慮到國內(nèi)半導體工藝上的落后,光指望中芯國際一家也是不行的,上海華虹集團日前透露其 14nm FinFET 工藝也全線貫通,SRAM 良率已達 25%。
1 月 12 日下午,,華虹集團在無錫新落成的華虹七廠研發(fā)大樓召開“開放、創(chuàng)新、合作—華虹集團 2020 年全球供應商迎新座談會”,邀請了國內(nèi) 30 多家、國外 50 多家供應商合作伙伴出席,華虹集團高管分享了該公司的最新進展。
華虹方面表示,2019 年是華虹集團產(chǎn)能擴張、工藝提升的關鍵年,該公司多個項目都取得了重要進展:
- 作為華虹集團在上海市域以外的第一個制造項目,華虹七廠于 9 月 17 日實現(xiàn)順利投產(chǎn),首期 1 萬片產(chǎn)能的機臺順利串線并完成一系列工藝驗證,進入正常生產(chǎn)階段,創(chuàng)造了業(yè)界同類產(chǎn)線建成投產(chǎn)的最快記錄,成為中國大陸第一條 12 英寸特色工藝產(chǎn)線,也是中國大陸第一條 12 英寸功率器件代工產(chǎn)線;
- 華虹六廠自 2018 年 10 月 18 日投產(chǎn)以來,產(chǎn)能爬坡順利,目前已經(jīng)完成月產(chǎn) 2 萬片的裝機產(chǎn)能;
- 華虹五廠實現(xiàn)連續(xù)兩年盈利,年度出貨量、單日作業(yè)量屢創(chuàng)新高;
- 華虹宏力 8 英寸特色工藝制造平臺(華虹一、二、三廠)在產(chǎn)能規(guī)模、營運效率方面持續(xù)保持領先,并連續(xù) 9 年實現(xiàn)盈利。
華虹集團成為業(yè)界唯一一家連續(xù)兩年建設并投產(chǎn)運營兩條 12 英寸生產(chǎn)線的企業(yè)
除了產(chǎn)能建設之外,華虹集團在技術研發(fā)上也獲得了多項重要突破,新研發(fā)的 65/55 納米節(jié)點得射頻和 BCD 特色工藝平臺,處于國際先進水平;28 納米工藝(28LP/28HK/28HKC+)均實現(xiàn)量產(chǎn);22 納米研發(fā)快速推進;14 納米研發(fā)或重大進展;更先進技術節(jié)點的先導工藝研發(fā)快速部署。
尤其是最新一代的工藝,華虹集團總工程師趙宇航指出其 14nm FinFET 工藝已經(jīng)全線貫通,SRAM 良率 25%,2020 年將快速推進。
這也是華虹集團首次對外公布 14nm 工藝的具體良率情況,SRAM 芯片的 25% 良率對生產(chǎn)來說肯定不行,但是對研發(fā)、實驗來說已經(jīng)是一大進步。
在總體進度上,華虹的 14nm 工藝肯定是不如中芯國際的 14nm 快的,后者的 14nm 工藝去年良率就達到了 95%,并已經(jīng)開始進入量產(chǎn)階段,比國家預定目標提前一年,現(xiàn)在正在產(chǎn)能提升及新工藝導入階段。
總結
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