消息称台积电现已采购35台EUV光刻机 占ASML过半产量
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消息称台积电现已采购35台EUV光刻机 占ASML过半产量
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對于主攻代工芯片的臺積電來說,擁有越多先進的光刻機,優勢就越大,當然訂單也就越多。
根據臺灣地區媒體的消息,臺積電目前已采購35臺EUV 設備,占ASML過半產量,2021年底采購總量將超過50臺。
之前就消息稱,臺積電已經下單訂購了至少13臺ASML的Twinscan NXE EUV光刻機,將會在2021年全年交付,明年臺積電實際需求的數量可能是高達16到17臺EUV光刻機。
相較之下,三星EUV設備采購量目前不到20臺。
根據ASML的官方數據,2018年至2019年,每月產能約4.5萬片晶圓(WSPM),一個EUV層需要一臺Twinscan NXE光刻機。隨著工具生產效率的提高,WSPM的數量也在增長。如果要為一個準備使用N3或更先進節點制造工藝的GigaFab(產能高于每月10萬片)配備設備,臺積電在該晶圓廠至少需要40臺EUV光刻設備。
總結
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