中国台湾发生6.7级地震!台积电、联电等晶圆厂回应
12月10日晚間21點19分,中國臺灣宜蘭縣政府東方27.2公里的臺灣東部海域發生深度76.8公里、芮氏規模6.7級的地震,而且全島都有震感,目前還沒人員傷亡報告。
由于臺灣是半導體與面板產業的重鎮,在面前晶圓代工產能與面板產能緊缺的情況下,外界對于此次地震對于未來市場的影響憂心忡忡。
世界先進的二廠及三廠都測得4級震度,依照標準作業流程,將所有制造部人員進行疏散,確認無任何傷亡,對生產營運沒有影響。
至于面板廠方面,群創的工廠分布在苗栗的竹南、南科,該位置相對距離震中較遠。
群創表示,因為面板廠的機臺都有地震防護,目前營運正常不受地震影響,友達也已緊急盤點各廠區,目前回報廠務系統正常運作并無影響。
上游設備廠商指出,由于半導體與面板廠內的設備精度都非常高,因此對于廠房與設備的耐震要求也比一般的公司要高很多,不過因為半導體與面板的前段制程會使用較多的化學藥劑與氣體,泰半都屬于有毒物質,一旦發生較大的地震時,并不是擔心機臺受損移位,而是怕設備管線發生滲漏,因此若是震度達到一定程度以上,即使地震未導致發生斷電使生產線中斷等狀況,但依照規定還是會將無塵室內的員工進行計劃性暫時疏散。
業者指出,10日晚間地震,新竹市3級、新竹縣4級,竹科內半導體廠測的都是3級,依半導體廠流程,黃光制程要重新pilot run,曝光機回線會比較慢,爐管要重新重啟,測試運作(test run)大概要6小時,其余機臺相對正常。
至于進一步細節需要等官方消息才會比較清楚。至于半導體相關供應鏈,封測業者回應,基本上封測廠要到震度五級以上才會有相關的反應,目前看來沒有斷電、較無生產上的問題。
總結
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