? ? ? Janis 無(wú)冷凍劑系列探針臺(tái)為研究人員提供真空和低溫探測(cè)能力，而無(wú)需使用液體冷凍劑。4 K、10 K 和 80 K 低溫冷卻器使用經(jīng)過驗(yàn)證的 Gifford-McMahon (GM) 技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)可靠且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的樣品冷卻。典型應(yīng)用包括 MEMS、納米電子、超導(dǎo)、鐵電、材料科學(xué)和光學(xué)。

?

? ? ? ?小于 1 μm 的振動(dòng)

? ? ? 溫度范圍（安裝 4 個(gè)探頭臂）從 4.5 K 到 350 K（可選：6.5 K 到 475 K 或 6.5 K 到 675 K）

? ? ? 可容納最大 2 英寸（51 毫米）直徑的晶圓（可選：最大 8 英寸 [200 毫米]）（有關(guān)更多詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱規(guī)格表）

? ? ? 多達(dá)八個(gè)冷卻、易于互換、微操作的探針臂

? ? ? 從 DC 到 67 GHz 的電氣測(cè)量

? ? ? 多種廉價(jià)的 LF 探頭尖端，易于更換

? ? ? 極低的三軸探頭臂漏電流（通常在 1 V 時(shí)為 1 至 2 fA）

? ? ? 非接觸式、無(wú)損開爾文探頭

? ? ? 多尖探頭

? ? ? 具有單模和多模光纖選項(xiàng)的光纖探針臂

? ? ? 帶有電纜和電線的額外電氣饋通到樣品區(qū)域

? ? ? 可選的特殊微型真空室在真空下將樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺(tái)?

? ? ? 適用于所有單鏡系統(tǒng)組件的精確平移 xyz 移動(dòng)臺(tái)

? ? ? 可選的可移動(dòng)樣品架

? ? ? 系統(tǒng)定制選項(xiàng)

? ? ? 振動(dòng)等級(jí)：小于 1 μm

? ? ? 真空環(huán)境：1E -5至 1E -6 mbar

? ? ? 溫度范圍* 使用四個(gè)探頭臂：CCR4：??~4.5 K 至 350 K
（可選：6.5 K 至 475 K?或?6.5 K 至 675 K）
CCR5：??~5.5 K 至 350 K
（可選：7.5 K 至 475 K?或?7.5 K 至 675 K）
CCR10：??~9 K 至 350 K
（可選：11 K 至 475 K?或?11 K 至 675 K）
CCR12：??~11 K 至 350 K
（可選：13 K 至 475 K?或?13 K 至 675 K）

* 使用兩個(gè)探頭臂降低基礎(chǔ)溫度? ? ? CCR80：??~80 K 至 350 K
（可選：82 K 至 475 K?或?82 K 至 675 K）

? ? ? 溫度穩(wěn)定性：±50 mK

? ? ? 冷卻時(shí)間?（標(biāo)準(zhǔn) 2 英寸樣品架和 325 K 最高溫度）：~4 到 5 小時(shí)

? ? ? 預(yù)熱時(shí)間：約 90 分鐘，帶快速預(yù)熱選項(xiàng)（約 5 小時(shí)不帶）

? ? ? 樣品安裝座：接地樣品架

2 英寸（51 毫米）直徑標(biāo)準(zhǔn)到 4 英寸（101 毫米）可選：帶偏置電壓同軸電纜的電隔離樣品架 帶低溫三軸電纜的三軸保護(hù)樣品架，無(wú)鉛芯片載體 (LCC) 架

? ? ? 可互換的探針臂：DC/LF 探頭：??DC 至 20 MHz，提供以下尖端：
- 尖端半徑為 0.1 至 200 μm 的鎢尖端（可選鍍金）
- 特殊的鎢可彎曲柄和尖端（貓須）尖端
- 低接觸電阻的鈹銅軟尖端

同軸或三軸（1 V 漏電流時(shí)通常為 1 至 2 fA）接線
1 V 時(shí) 0.5 pA

微波探頭：
0 至 40 GHz
0 至 50 GHz
0 至 67 GHz

光纖探頭：
單模
UV-VIS 或 VIS-IR 多模

非- 接觸式、非破壞性開爾文探針

? ? ? 光學(xué)頂部視口訪問：標(biāo)準(zhǔn)的 2.0 英寸（51 毫米）通光孔徑
可選高達(dá) 8 英寸（200 毫米）的通光孔徑

帶 LCD 19 顯示器或 USB 攝像頭的單筒望遠(yuǎn)鏡和精確的平移臺(tái)? ? ? 7:1 變焦，5 μm 分辨率（216 倍放大）
12.5:1 變焦，3.4 μm 分辨率（508 倍放大）
16:1 變焦，2.2 μm（626 倍放大）

探頭行程：CCR-1

X軸： ? ?1 英寸（25 毫米） ? ?

Y軸： ? ?1 英寸（25 毫米）
（15 毫米帶 MW 探頭） ? ?

Z軸： ? ?10 毫米（18 毫米可選） ?

CCR-2

X軸：2 英寸（51 毫米）

Y軸：2 英寸（51 毫米）

（45 毫米，帶 MW 探頭）

Z軸：10 毫米（18 毫米可選）

X 軸、Y 軸、Z 軸探頭平移（刻度的增量單位） ：CCR-1：10 微米，CCR-2：12.5 微米。

探頭平移分辨率：可提供具有更高平移分辨率的X、Y、Z 軸：CCR-1：5 微米，CCR-2：6.25 微米。? ??

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的Janis—CCR闭循环系列探针台的全部?jī)?nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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