《炬丰科技-半导体工艺》硅片湿法清洗槽中兆声波下的水和气泡运动
書(shū)籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》
文章：硅片濕法清洗槽中兆聲波下的水和氣泡運(yùn)動(dòng)
編號(hào)：JFKJ-21-576
作者：炬豐科技
摘要
研究了兆聲波對(duì)300 mm直徑硅片濕法清洗槽中水和氣泡運(yùn)動(dòng)的影響。使用水溶性藍(lán)色墨水的示蹤劑觀察整個(gè)浴中的水運(yùn)動(dòng)。兆聲波加速了整個(gè)浴槽中的水運(yùn)動(dòng)，盡管沒(méi)有兆聲波時(shí)的水運(yùn)動(dòng)趨向于局部化。兆聲波產(chǎn)生的小氣泡的運(yùn)動(dòng)也被追蹤到整個(gè)晶片表面。兆聲波和水流增加了氣泡的傳輸速率。
介紹
使用超純水、各種化學(xué)試劑和非常常見(jiàn)的兆聲波在濕法工藝之后清洗硅晶片表面.此外，兆聲波產(chǎn)生的微泡已經(jīng)用于各種清洗技術(shù)。因此，許多研究人員)已經(jīng)基于清潔的硅晶片表面的粒子水平評(píng)估研究了其有效使用的方法和條件。為了進(jìn)一步改善濕式清洗槽中的濕式清洗條件，水和氣泡在兆聲波作用下的運(yùn)動(dòng)應(yīng)該得到充分的澄清。盡管在著名的先前論文中已經(jīng)通過(guò)數(shù)值計(jì)算研究了兆聲波下的水流，但是使用可視化技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究應(yīng)該進(jìn)一步進(jìn)行。
本文研究了在不同功率的超聲波作用下，水和氣泡在整個(gè)無(wú)載體濕法清洗槽中的運(yùn)動(dòng)。根據(jù)所得結(jié)果，討論了兆聲波的作用和影響。
實(shí)驗(yàn)的
圖1顯示了本文中使用的無(wú)載體濕式清洗槽的示意圖。該系統(tǒng)由一個(gè)槽、25個(gè)晶片(直徑300毫米)、三個(gè)晶片支撐桿和兩個(gè)水噴嘴組成。浴缸和水噴嘴由石英玻璃制成。晶片支撐桿由碳氟樹(shù)脂制成。在這項(xiàng)研究中，為了使水的運(yùn)動(dòng)可視化，將水溶性藍(lán)色墨水加入水中。藍(lán)色墨水的運(yùn)動(dòng)是用錄像機(jī)每60-90秒拍攝一次。使用連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)的液晶投影儀產(chǎn)生的一片光來(lái)照亮浴池中小氣泡的運(yùn)動(dòng)；它是使用超級(jí)眼睛C2847和DVS-3000系統(tǒng)。
書(shū)籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》
文章：硅片濕法清洗槽中兆聲波下的水和氣泡運(yùn)動(dòng)
編號(hào)：JFKJ-21-576
作者：炬豐科技
網(wǎng)址：http://www.wetsemi.com/index.html
摘要
研究了兆聲波對(duì)300 mm直徑硅片濕法清洗槽中水和氣泡運(yùn)動(dòng)的影響。使用水溶性藍(lán)色墨水的示蹤劑觀察整個(gè)浴中的水運(yùn)動(dòng)。兆聲波加速了整個(gè)浴槽中的水運(yùn)動(dòng)，盡管沒(méi)有兆聲波時(shí)的水運(yùn)動(dòng)趨向于局部化。兆聲波產(chǎn)生的小氣泡的運(yùn)動(dòng)也被追蹤到整個(gè)晶片表面。兆聲波和水流增加了氣泡的傳輸速率。
介紹
使用超純水、各種化學(xué)試劑和非常常見(jiàn)的兆聲波在濕法工藝之后清洗硅晶片表面.此外，兆聲波產(chǎn)生的微泡已經(jīng)用于各種清洗技術(shù)。因此，許多研究人員)已經(jīng)基于清潔的硅晶片表面的粒子水平評(píng)估研究了其有效使用的方法和條件。為了進(jìn)一步改善濕式清洗槽中的濕式清洗條件，水和氣泡在兆聲波作用下的運(yùn)動(dòng)應(yīng)該得到充分的澄清。盡管在著名的先前論文中已經(jīng)通過(guò)數(shù)值計(jì)算研究了兆聲波下的水流，但是使用可視化技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究應(yīng)該進(jìn)一步進(jìn)行。
本文研究了在不同功率的超聲波作用下，水和氣泡在整個(gè)無(wú)載體濕法清洗槽中的運(yùn)動(dòng)。根據(jù)所得結(jié)果，討論了兆聲波的作用和影響。
實(shí)驗(yàn)的
圖1顯示了本文中使用的無(wú)載體濕式清洗槽的示意圖。該系統(tǒng)由一個(gè)槽、25個(gè)晶片(直徑300毫米)、三個(gè)晶片支撐桿和兩個(gè)水噴嘴組成。浴缸和水噴嘴由石英玻璃制成。晶片支撐桿由碳氟樹(shù)脂制成。在這項(xiàng)研究中，為了使水的運(yùn)動(dòng)可視化，將水溶性藍(lán)色墨水加入水中。藍(lán)色墨水的運(yùn)動(dòng)是用錄像機(jī)每60-90秒拍攝一次。使用連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)的液晶投影儀產(chǎn)生的一片光來(lái)照亮浴池中小氣泡的運(yùn)動(dòng)；它是使用超級(jí)眼睛C2847和DVS-3000系統(tǒng)。
書(shū)籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》
文章：硅片濕法清洗槽中兆聲波下的水和氣泡運(yùn)動(dòng)
編號(hào)：JFKJ-21-576
作者：炬豐科技
網(wǎng)址：http://www.wetsemi.com/index.html
摘要
研究了兆聲波對(duì)300 mm直徑硅片濕法清洗槽中水和氣泡運(yùn)動(dòng)的影響。使用水溶性藍(lán)色墨水的示蹤劑觀察整個(gè)浴中的水運(yùn)動(dòng)。兆聲波加速了整個(gè)浴槽中的水運(yùn)動(dòng)，盡管沒(méi)有兆聲波時(shí)的水運(yùn)動(dòng)趨向于局部化。兆聲波產(chǎn)生的小氣泡的運(yùn)動(dòng)也被追蹤到整個(gè)晶片表面。兆聲波和水流增加了氣泡的傳輸速率。
介紹
使用超純水、各種化學(xué)試劑和非常常見(jiàn)的兆聲波在濕法工藝之后清洗硅晶片表面.此外，兆聲波產(chǎn)生的微泡已經(jīng)用于各種清洗技術(shù)。因此，許多研究人員)已經(jīng)基于清潔的硅晶片表面的粒子水平評(píng)估研究了其有效使用的方法和條件。為了進(jìn)一步改善濕式清洗槽中的濕式清洗條件，水和氣泡在兆聲波作用下的運(yùn)動(dòng)應(yīng)該得到充分的澄清。盡管在著名的先前論文中已經(jīng)通過(guò)數(shù)值計(jì)算研究了兆聲波下的水流，但是使用可視化技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究應(yīng)該進(jìn)一步進(jìn)行。
本文研究了在不同功率的超聲波作用下，水和氣泡在整個(gè)無(wú)載體濕法清洗槽中的運(yùn)動(dòng)。根據(jù)所得結(jié)果，討論了兆聲波的作用和影響。
實(shí)驗(yàn)的
圖1顯示了本文中使用的無(wú)載體濕式清洗槽的示意圖。該系統(tǒng)由一個(gè)槽、25個(gè)晶片(直徑300毫米)、三個(gè)晶片支撐桿和兩個(gè)水噴嘴組成。浴缸和水噴嘴由石英玻璃制成。晶片支撐桿由碳氟樹(shù)脂制成。在這項(xiàng)研究中，為了使水的運(yùn)動(dòng)可視化，將水溶性藍(lán)色墨水加入水中。藍(lán)色墨水的運(yùn)動(dòng)是用錄像機(jī)每60-90秒拍攝一次。使用連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)的液晶投影儀產(chǎn)生的一片光來(lái)照亮浴池中小氣泡的運(yùn)動(dòng)；它是使用超級(jí)眼睛C2847和DVS-3000系統(tǒng)。
總結(jié)
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