? ? ? 用于芯片、晶圓和器件測試的微操作低溫和真空探針系統(tǒng)，溫度范圍從 ~3.5 K 到 675 K

? ? ? Janis 微操作探針臺設(shè)計用于使用直流、射頻和光纖探針進行無損電氣測試。它們可用于各種領(lǐng)域，包括半導體、MEMS、超導、電子、鐵電、材料科學、物理學和光學。LHe/LN?2?或機械閉環(huán)制冷機提供冷卻。不同的模型將樣品定位在超高真空 (UHV)、超高溫（至 675 K）和磁場中。

? ? ? 靈活的探針

? ? ? Janis Research 的低溫探針臺新技術(shù)特殊的柔性探針尖端允許在可變 DUT 溫度測量期間吸收探針臂的熱漂移運動。

? ? ? 微型、可移動的樣品真空室

? ? ? Janis Research 還提供了一個微型、可運輸?shù)臉悠氛婵帐?#xff0c;能夠在通過大氣環(huán)境運輸期間將樣品保持在真空中。真空室可用于在真空下將晶圓/基板從具有特殊環(huán)境的手套箱轉(zhuǎn)移到真空或低溫微操作探針臺（或進入真空室），并在測試、測量或準備工作。這種可移動的真空室可在裝載和卸載時保護晶片/基板免受大氣污染。

? ? ? 與普通的真空負載鎖不同，真空室具有以下特點和優(yōu)點：

? ? ? 典型尺寸為 50 毫米直徑和 25 毫米厚度

? ? ? 無需閘閥

? ? ? 非常方便和容易的操作

? ? ? 低成本

? ? ? 在不增加低溫探針臺的基礎(chǔ)溫度的情況下安裝可移動的樣品架

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總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的Janis—微操作探针台系统的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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