长三角半导体产业参观日记
這一周以來(lái),走訪了長(zhǎng)三角地區(qū)的三家半導(dǎo)體公司,印象頗深。
分別是無(wú)錫華潤(rùn)上華(CSMC)、常州晶品光電(Epistar)、上海臺(tái)積電(TSMC)。
無(wú)錫華潤(rùn)上華屬于華潤(rùn)集團(tuán),拳頭產(chǎn)品是以trench MOS為代表的功率器件IC以及CDMOS工藝。
CDMOS為complementary and double-diffusion MOS,是將LDMOS功率器件與傳統(tǒng)CMOS器件集成在同一硅片上的技術(shù)。
我們進(jìn)入了防護(hù)等級(jí)為1000級(jí)的無(wú)塵室,穿上了防護(hù)服,經(jīng)過(guò)了空氣淋浴,親眼見(jiàn)到了濕法刻蝕區(qū)、離子注入?yún)^(qū)、用于光刻的黃光區(qū)、薄膜生長(zhǎng)區(qū)等,學(xué)習(xí)到了集成電路制造過(guò)程。
晶品光電利用GaN(三五族半導(dǎo)體)生產(chǎn)藍(lán)綠光LED,首先是在藍(lán)寶石(Al2O3)襯底上外延GaN,接著就和集成電路工藝兼容了。藍(lán)寶石是無(wú)色的耶,這讓我印象挺深的,后來(lái)查了一下,藍(lán)色來(lái)自于雜質(zhì)Ti和Fe。發(fā)光原理嘛,自然就是PN結(jié)的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)嘍,那邊提到了MQW(量子阱)以后得查查!
上海臺(tái)積電在松江,因?yàn)榕_(tái)積電對(duì)外保密程度高,我們進(jìn)不去無(wú)塵室,不過(guò)臺(tái)積電員工福利不錯(cuò)這是確實(shí)的,哈哈!
總結(jié)
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