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版圖設計培訓資料
第四部分:版圖設計藝術 4.2 寄生電容 4) 特定的工藝中,隨著金屬層次越高,最小寬度越大。 M1離襯底最近,單位面積電容越大。M4走供電總線,M3用作二級供電,如下圖所示M2的寄生電容最小。 根據設計要求選擇最小寄生電容層次 當層次離襯底越來越遠時單位面積的電容越來越小,但最小寬度卻在增大。 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4.2 寄生電容 4.2.1 減小寄生電容的方法 寄生電容=金屬線寬×金屬長度×單位面積電容 1)敏感信號線盡量短 2)選擇高層金屬走線 最高層金屬,離襯底最遠,單位面積電容最小 3)敏感信號彼此遠離 4)不宜長距離一起走線 5)電路模塊上盡量不要走線 6)繞開敏感節點 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4.3 寄生電阻 1)每根金屬線都有寄生電阻(對于版圖電流超過0.5mA就應該留意它的線寬、drop的影響) 2)如下圖:我們希望這根導線能承載1毫安的電流,金屬最小寬度是2um,當電流流過這一長導線時,它上面的壓降是多少?電路要求10mv的電壓降?如何改進? 2.1)IR Drop一般不要超過10mv,這意味著導線增加5倍。 3)電源布線時尤其要注意 金屬層是每方塊50毫歐=0.05歐 長/寬=方塊數 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4)可以根據19毫安的總電流來確定整條導線的尺寸。對 這條導線采用每微米0.5毫安,需要的導線寬度為38微米才可靠。(用總電流安培數除以每微米安培數19/0.5) 沿整條路徑都布置很粗的供電方案 使導線沿路徑逐漸變細可節省面積 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4.3 寄生電阻 4.3.1 減小寄生電阻 寄生電阻=(金屬長度/金屬寬度)×方塊電阻 1)加大金屬線寬,減小金屬長度 2)如果金屬線太寬,可以采用幾層金屬并聯走線 M1M2M3三層金屬并聯布線,總的寄生電阻減小1/3 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4.4 減小CMOS器件寄生效應 將晶體管裂開,用多個手指(finger)并聯取代 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4.5 天線效應 1)天線效應:在工藝干法刻蝕時會在晶片表面淀積電荷,暴露的導體可以收集能夠損壞薄柵介質的電荷,這種失效機制稱為等離子致損傷/天線效應。 2)解決天線效應的方法: 金屬跳層 用PN結將其電荷引入襯底 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 4.6 閂鎖效應 1. Latch up 是指cmos晶片中, 在電源power VDD和地線GND之間由于寄生的PNP和NPN雙極性BJT相互影響而產生的一低阻抗通路, 它的存在會使VDD和GND之間產生大電流。 2. Latch up 最易產生在易受外部干擾的I/O電路處, 也偶爾發生在內部電路。 3. 隨著IC制造工藝的發展, 封裝密度和集成度越來越高,產生Latch up的可能性會越來越大。 4. Latch up 產生的過度電流量可能會使芯片產生永久性的破壞, Latch up 的防范是IC Layout 的最重要措施之一。 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 5. Latch up 的原理分析(一) CMOS INV與其寄生的BJT截面圖 寄生BJT形成SCR的電路模型 B到c的增益可達數百倍 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 6. Latch up 的原理分析(二) Q1為一垂直式PNP BJT, 基極(base)是nwell, 基極到集電極(collector)的增益可達數百倍;Q2是一側面式的NPN BJT,基極為P substrate,到集電極的增益可達數十倍;Rwell是nwell的寄生電阻;Rsub是substrate電阻。 以上四元件構成可控硅(SCR)電路,當無外界干擾未引起觸發時,兩個BJT處于截止狀態,集電極電流是C-B的反向漏電流構成,電流增益非常小,此時Latch up不會產生。 當其中一個BJT的集電極電流受外部干擾突然增加到一定值時,會反饋至另一個BJT,從而使兩個BJT因觸發而導通,VDD至GND間形成低抗通路,Latch up由此而產生。 * 技術中心內部資料 第四部分:版圖設計藝術 7. 版圖中產生的latch up? 輸出電流很大的情況下; (P和N之間至少間距30-40u) 直接接到PAD的MOS管的D端; (將MOS管的D端加大,孔到AA的間距至少2u) 產生clk,開
總結
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