euv光刻机有什么用_日本光学技术全球第一,可高端光刻机为何只有荷兰能造?...
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日本光學技術
在科技領域,光刻機從來都是最頂尖的神話,很多科學家,工程師能夠參與高端光刻機的設計和制造,就已經代表其在業內的頂尖水準了。一臺光刻機能夠被制造出來,需要十萬個零部件,各種精密的儀器都至關重要。
業內有工程師透露,高端光刻機一個零部件的調試就需要花費十年時間,核心子系統更是需要各國頂尖的大公司才能提供。比如較為重要的光學技術幾乎都被日本企業所把控。
說起光刻機的原理其實也很簡單,就和照相機一樣,通過曝光的方式把設計好的芯片電路圖成像在硅基晶圓上,最后用光來雕刻芯片電路圖。因此在光學技術上有較大優勢的日本,在光刻機領域其實是有很大話語權的。
比如日本的佳能,尼康都是光刻機市場的大佬,曾經的荷蘭ASML公司,在他們面前只能算小弟。因為光刻機和照相機有同樣的原理,所以尼康和佳能也是業內十分出色的相機巨頭。
而高端光刻機主要指EUV光刻機,EUV的極紫外光波長為10-14納米,用這類光源作為光刻技術,是生產5nm芯片必要的設備。沒有EUV光刻機,世界上一顆高端芯片都生產不出來。
日本光學技術全球第一,也因此誕生了佳能和尼康這樣的巨頭,可是為什么高端光刻機只有荷蘭能造?
荷蘭ASML能造高端光刻機的原因
全球也只有荷蘭ASML這一家公司能造高端光刻機,按理說日本掌握了非常重要的光學技術,可為什么只有荷蘭能造?原因主要有兩點。
第一點:光學技術很重要,但不是關鍵。一臺EUV光刻機會用到多達十萬個零部件,涉及物理學、光學、數學、流體力學、表面物理與化學、自動化、精密儀器等等。任何一個技術都很重要,并不是說掌握一項技術就具備制造高端光刻機的能力。
縱使日本光學技術世界第一,也只是擁有其中一項技術的條件而已。雖然很重要,但不是關鍵。關鍵在于如何在所有重要的技術都集中在一起,ASML做到了。
ASML集合了全世界高端工藝技術,有90%的先進零部件都來自歐美國家。正是因為ASML把所有關鍵技術都用在了一起,才能生產出高端光刻機。
其實也可以理解為高端光刻機并不是ASML一家企業造的,而是世界各國一起出力,一起提供資源,才造就一臺高端光刻機。
第二點:ASML抓住了機會
成立于1984年的ASML最初只是一家瀕臨破產的小公司,坐落于飛利浦大廈外垃圾桶旁。當時的GCA還是光刻機領域大佬,日本的佳能和尼康勢頭正猛,和他們相比,ASML根本不值一提。
在一個簡陋的廠房里,只有47名員工,但是ASML有著凌云壯志,并表示要做第一。就在大家都以為ASML瘋了的時候,ASML抓住了機會,這個機會讓ASML從此一飛沖天,連續超越尼康和佳能,打破業內光刻機技術的限制,一步步成為世界第一,并且為打造高端光刻機打下基礎。
這個機會來自于臺積電林本堅,當時整個半導體行業都遇上了難題,光刻機光源被卡在了193nm。尼康和佳能都決定采用老辦法,強行壓縮光源到157nm。
時任臺積電研發副經理的林本堅提出了浸沒式光刻法,可以把193nm變為132nm。然而林本堅提出的浸沒式光刻法不受人待見,只有ASML在浸沒式光刻法看到了機會。于是ASML選擇了浸潤式技術,事實證明,ASML的選擇是對的。
從此以后ASML和臺積電結下了不解之緣,ASML在抓住機會后,也在后來造出了力壓尼康和佳能的光刻機。
這是首次超越光刻機兩大巨頭,ASML也越加強大,直到造出第一臺EUV光刻機,此后ASML已經徹底壟斷高端光刻機市場。
總結
一次機會有多么重要?可能就是ASML抓住這個機會,從此成為光刻機世界第一巨頭,也和臺積電結下深厚的友誼。每次生產的EUV光刻機都能優先提供給臺積電,再看日本尼康和佳能,已經從昔日的大佬,淪為了小弟。
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總結
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