作者：憲瑞

　　荷蘭 ASML 公司前不久發布的財報顯示2019 年該公司出貨了 26 臺 EUV 光刻機，創造了歷史記錄。ASML 沒有公布具體的客戶名單，但是主要買家就是臺積電與三星。現在韓國媒體爆料稱，三星日前又下了一筆大訂單，斥資 33.8 億美元采購 20 臺 EUV 光刻機，不僅會用于7/5nm 等邏輯工藝，還會用在 DRAM 內存芯片生產上。

　　據報道，三星在 1 月 15 日與 ASML 公司簽訂了新一輪訂單，將采購 20 臺 EUV 光刻機，總計花了 33.8 億美元，約合 234 億元人民幣。

　　這次的 EUV 光刻機采購規模比去年 10 月份的 15 臺、181 億元的規模更大，顯示出三星在 EUV 工藝上的雄心，畢竟三星從 7nm 開始就會直接上馬 EUV 工藝，目前已經量產，高通、NVIDIA、IBM 等公司都會是三星 7nm EUV 工藝的客戶。

　　在 7nm 之后，三星還會推出 6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE 等工藝，依然少不了 EUV 光刻機的參與，其中 6nm 工藝號稱今年 1 月份已經量產出貨，不過三星沒有提供詳細的客戶信息。

　　這次采購的 20 臺 EUV 光刻機不僅會用于邏輯工藝，還會用在 DRAM 內存芯片上，這有可能帶來內存芯片生產的一場變革。

　　在進入 10nm 級別之后，DRAM 內存也衍生出了 1X、1Y、1Z 至少三代工藝，大概等效于 16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光還會有更細化的1α、1β等工藝，但是在越過 10nm 這個坎上，內存工藝上 EUV 光刻機也是遲早的事。

　　從報道來看，三星最快在今年底就會在內存芯片生產上使用 EUV 光刻機，雖然不知道具體詳情，但是年底的時候三大內存芯片廠商應該會開始量產新一代的 DDR5 內存，所以有可能在 DDR5 內存上首嘗 EUV 的螃蟹味道。

總結

以上是生活随笔為你收集整理的三星斥资34亿美元采购20台EUV光刻机 内存也要上新工艺的全部內容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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