ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域幾乎是巨無(wú)霸的存在，而他們對(duì)于與中國(guó)企業(yè)合作也是非常歡迎，無(wú)奈一些關(guān)鍵細(xì)節(jié)上被美國(guó)卡死。

EUV光刻機(jī)是光刻機(jī)在發(fā)展過(guò)程中的第五代產(chǎn)品，由于采用了極紫外線，它的最小工業(yè)節(jié)點(diǎn)到了 22nm-7nm，可以說(shuō)是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備——而這種設(shè)備，只有ASML能造出來(lái)。

后來(lái)此事被報(bào)道后，ASML回應(yīng)稱，對(duì)包括中國(guó)客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁，且向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》。當(dāng)時(shí)，荷蘭政府的確向 ASML 發(fā)放了出口許可證。

不過(guò)，最終這個(gè)交易也沒(méi)有形成，根據(jù)知情人士的說(shuō)法，美國(guó)立即盯上了這筆交易——接下來(lái)的幾個(gè)月里，美方官員至少四次與荷蘭官員開(kāi)會(huì)，討論可否直接封殺這筆交易。

此后，關(guān)于 EUV 光刻機(jī)向中國(guó)出口，ASML 的官方說(shuō)法一直是：公司仍在等待新許可證申請(qǐng)的批準(zhǔn)。

在這之前，ASML CFO Roger Dassen在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中談到了與中芯國(guó)際等中國(guó)客戶的業(yè)務(wù)情況，其表示一些情況下，出口光刻機(jī)是不需要許可證的。

美國(guó)僅僅是限制了美國(guó)不能給中國(guó)出口芯片、光刻機(jī)等，但并沒(méi)有限制其他國(guó)家對(duì)中國(guó)進(jìn)口，荷蘭并不在美國(guó)的禁令范圍內(nèi)。

目前的光刻機(jī)主要分為EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)。DUV光刻機(jī)，分為干分式與液浸式兩種。其中，液浸式于ASML手中誕生，其波長(zhǎng)雖然有193nm，但等效為134nm，經(jīng)過(guò)多重曝光后，液浸式光刻機(jī)也能夠達(dá)到7nm工藝。但是，每多一次曝光都會(huì)使得制造成本大大提升，而且良品率也難以控制。

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的ASML EUV光刻机被美国卡死：中国企业出多少钱都买不回的全部?jī)?nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問(wèn)題。

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