在高端光刻膠方面，國內又一家公司加入戰場了，彤程新材宣布自籌7億元研發ArF高端光刻膠。

彤程新材公告，公司從實際生產經營需求出發，決定通過公司全資子公司彤程電子在上?；瘜W工業區內使用自籌資金6.9853億元，投資建設“ArF 高端光刻膠研發平臺建設項目”，項目預計于2023年末建設完成。

該項目主要研究 ArF 濕法光刻膠工業化生產技術開發，通過建立標準化的生產及控制流程，提升高端光刻膠的質量控制水平，實現193nm 濕法光刻膠量產生產；同時，逐步建立先進的集成電路及配套材料開發與應用評價平臺。

ArF光刻膠涵蓋的工藝技術很廣，可用于90nm-14nm甚至7nm 技術節點制造工藝，廣泛應用于高端芯片制造（如邏輯芯片、 存儲芯片、AI 芯片、5G 芯片和云計算芯片等）。

總結

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