離子束刻蝕設備有立式、臥式兩種結構。通常情況下，該設備以臥式的結構居多，因為采用臥式結構的話，離子源發(fā)出的離子束為水平噴射方向，大部分的刻蝕濺射物將落在真空室的底部，可在一定程度上將濺射材料的重新沉積減少。

廣東振華鍍膜機廠房

1、真空室

離子刻蝕真空室通常是圓筒形的構造，材質(zhì)一般是奧體式型1Cr18Ni9Ti不銹鋼。真空室應拋光內(nèi)壁，確保有一個光滑的內(nèi)表面，以便真空室進行清洗；設置平面形或蝶形封頭的大門，應有靈活、輕便的開關體驗；一般最在兩邊都設有門，便于樣品裝卸、設備的檢修和離子源的清洗等；設置觀察窗的位置要適當，便于刻蝕進行的情況的觀察。

2、離子源

該設備采用永久磁鐵軸向發(fā)散磁場結構的Kaufman型離子源。為了便于清洗、裝拆的進行，設計離子源為可拆卸式的整體結構，可將陰極組件單獨卸下，在屏蔽罩正面裝設中和器，引線與供氣管為接插結構。

3、樣品臺

此裝置用于裝卡刻蝕樣品，不同的刻蝕的樣品種類以及不同的客戶需求，采用的也是不同種類的樣品臺。樣品臺一般為平移與旋轉這兩種方式，也可按照水冷區(qū)分為有間接水冷和直接水冷兩種方式。

4、快門

有手動、電動兩種操作方式，具備操作簡單、可靠、無故障等特點。它是將離子束通向樣品臺的通路隔斷的一大重要部件，目的是在刻蝕前便于束流中和情況和束流密度的檢測。它一般需要幾分鐘的時間來達到束流的穩(wěn)定狀態(tài)。

5、真空系統(tǒng)

離子刻蝕的真空系統(tǒng)包括臥式真空室、真空檢測系統(tǒng)、單百葉窗式水冷障板、油擴散泵、儲氣罐、三通閥、高真空插板閥、電磁帶放氣真空截止閥、油擴散泵、高速旋片式機械泵、電磁放氣閥、真空管道等構造。

6、供氣系統(tǒng)

該刻蝕設備的供氣系統(tǒng)的操作分為手控和自控兩類，供氣系統(tǒng)分工質(zhì)氣體、輔助氣體兩套系統(tǒng)，工質(zhì)氣體通常為氬氣、輔助氣體通常為氧氣。將氧氣按照一定比例混入氬氣中，可避免一些如LiNbO?的晶體的表面因為缺氧影響性能。

7、水冷系統(tǒng)

水冷系統(tǒng)是用來冷卻離子源、樣品臺、油擴散泵以及水冷障板等結構的，一般由水壓繼電器、若干個截止閥和管路組成。水壓繼電器的作用主要是在停水和水壓過低的情況下，將電源自動切斷，再通過斷水警報器及時發(fā)出報警音響，起到預防設備燒壞的作用。

廣東振華離子束刻蝕設備的性能一般主要是通過整機特性(連續(xù)工作時長、設備規(guī)格等)、控制系統(tǒng)特性(自動控制、手動控制、功能等)、樣品臺性能、真空系統(tǒng)性能(極限真空度、真空工作壓力、完整的系統(tǒng)抽氣時間、更換樣品后的抽氣時間等)、離子源特性(有效束徑、離子束流密度均勻度、離子束加速電壓、離子束流密度、離子束加速電壓穩(wěn)定度、離子束流穩(wěn)定度等)等方面進行評定。

總結

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